中微公司获得实用新型专利授权：“一种基板升降装置和半导体处理装置”

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证券之星消息，根据企查查数据显示中微公司（688012）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种基板升降装置和半导体处理装置”，专利申请号为CN202322592462.4，授权日为2024年6月7日。

专利摘要：本实用新型公开了一种基板升降装置和半导体处理装置，基板升降装置包括：支撑部件，用于举起基座上承载的基板；顶升部件，与所述支撑部件连接；驱动部件，与所述顶升部件连接，控制顶升部件并带动支撑部件升降，从而使所述基板升降；其中，所述顶升部件包括：第一连接杆，其包括第一端和第二端，所述第一端与支撑部件连接；第二连接杆，其包括第三端和第四端，所述第三端与所述第一连接杆的第二端连接，第四端与所述驱动部件连接；所述第一连接杆的第二端与第二连接杆的第三端之间具有弧形连接端面；本装置消除了驱动部件与第二连接杆之间的安装误差带来的影响，降低了对基板升降装置安装精度的要求，提高了基板升降装置的可靠度。

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今年以来中微公司新获得专利授权69个，较去年同期增加了1.47%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了8.17亿元，同比增34.91%。

数据来源：企查查

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