直击华特气体业绩会：2023年实现海外光刻气销售历史性突破

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（原标题：直击华特气体业绩会：2023年实现海外光刻气销售历史性突破）

“光刻气系公司的拳头产品，公司自主研发的Ar/F/Ne、Kr/Ne、Ar/Ne和Kr/F/Ne4种光刻气是国内唯一一家同时通过荷兰ASML公司和日本GIGAPHOTON株式会社认证的气体公司，已经销售产生订单。同时，在2023年实现海外光刻气销售的历史性突破。”6月3日，华特气体(688268)董事、总经理傅铸红在2023年年度业绩说明会上表示。

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资料显示，华特气体的主营业务以特种气体的研发生产及销售为核心，公司自主研发的氟碳类、光刻稀混气类、氢化物、氮氧化合物等产品主要应用在芯片制程工艺中的刻蚀、清洗、光刻、外延、沉积/成膜、离子注入等环节。

华特气体董秘万灵芝在业绩说明会上介绍，公司的电子特种气体产品在电子领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、高纯一氧化氮、高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、锗烷、高纯乙烯等众多产品的进口替代。公司的拳头产品光刻气（Ar/Ne/Xe、Kr/Ne、F2/Kr/Ne、F2/Ar/Ne）通过了ASML和GIGAPHOTON的认证，是国内唯一通过两家认证的气体公司。

华特气体副董事长石思慧也表示，2023年末，公司现已累计实现进口替代的产品超55种，另有在研项目57项在研项目中刻蚀类环节中应用的产品项目占主要比例。公司自主研发的全产业链产品-锗烷通过了韩国最大存储器企业的5纳米制程工艺产线的认证并产生订单。

石思慧透露，公司已成功实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过90%的客户覆盖率，已有超20个产品供应到14nm、7nm等产线，并且公司的部分氟碳类产品、氢化物已进入到5nm的先进制程工艺中使用并不断扩大覆盖范围。在集成电路、显示面板等半导体领域，公司产品得到境内外大型半导体厂商一致认可，充分彰显了行业下游对公司产品质量和技术水平的认可。

2023年，华特气体净利润同比下降17.18%。对于业绩变动情况，万灵芝解释称，2022年稀有气体原料价格大幅上涨导致公司产品价格和收入上涨，2023年稀有气体原料回归正常水平，因此导致公司稀有气体产品销售价格和收入下降；同时受消费电子等需求不振、下游半导体厂稼动率下降等影响，导致2023年度公司电子特气业务收入和营业利润下降。

有投资者关注现阶段下游半导体行业的恢复情况，傅铸红回复称，据（SEMI）联合发布的报告，随着电子板块销售额的上升、库存的稳定和晶圆厂产能的增加，2024年第一季度全球半导体制造业出现改善迹象，预计下半年行业增长将更加强劲。

针对海外业务的情况，石思慧表示，2023年，公司立足原有海外客户，实现海外光刻气销售的历史性突破。同时进一步强化国际化布局，通过收购的海外公司赋能公司的多款产品已通过新加坡“3DNAND制造厂商”的认证。目前，公司在泰国的现场制气项目增加至3个。